氣體凈化
半導體芯片制造過程中需要高純度的氣體,活性炭可以吸附氣體中的雜質,凈化氣體。
化學試劑凈化
芯片制造中使用的化學試劑也需要凈化,活性炭可以去除其中的有害物質。
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